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IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上，增添了更多的功能

，可幫助您實(shí)現沉積過(guò)程的大價(jià)值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統，提供穩定、高分辨

率的速率和厚度測量，速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業(yè)中的。IC6 具有其

他石英晶體控制器比擬的性能、品質(zhì)和功能，賦予您的過(guò)程的可重復性。

功能

INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得高、穩定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率低的情況下

Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度

支持zui多六個(gè)來(lái)源同時(shí)共鍍膜

彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶(hù)很容易看到過(guò)程的進(jìn)展狀況

100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄

強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復雜的系統（使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，

14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語(yǔ)句）

6 個(gè)標準 DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監控

可容納多 50 個(gè)過(guò)程，每個(gè)過(guò)程 200 層，這些過(guò)程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。

多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器

4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長(cháng)的真空傳感器電纜

可選以太網(wǎng)通信

符合 RoHS 標準

典型應用

光學(xué)鍍膜

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鍍